MMF加速度計(jì)包含通用型、高精度兩個(gè)系列。主要用于測量三軸加速度的傳感器，三軸中的每一軸加速度傳感器均采用MEMS芯片，具有高性能、低價(jià)位、高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具備溫度傳感器輸出、自檢測功能，可實(shí)現(xiàn)溫補(bǔ)和BIT。

 

　　本加速度計(jì)由檢測質(zhì)量、支承、電位器、彈簧、阻尼器和殼體組成。檢測質(zhì)量受支承的約束只能沿一條軸線移動(dòng)，這個(gè)軸常稱為輸入軸或敏感軸。當(dāng)儀表殼體隨著運(yùn)載體沿敏感軸方向作加速運(yùn)動(dòng)時(shí)，根據(jù)牛頓定律，具有一定慣性的檢測質(zhì)量力圖保持其原來的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)不變。它與殼體之間將產(chǎn)生相對運(yùn)動(dòng)，使彈簧變形，于是檢測質(zhì)量在彈簧力的作用下隨之加速運(yùn)動(dòng)。當(dāng)彈簧力與檢測質(zhì)量加速運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的慣性力相平衡時(shí)，檢測質(zhì)量與殼體之間便不再有相對運(yùn)動(dòng)，這時(shí)彈簧的變形反映被測加速度的大小。電位器作為位移傳感元件把加速度信號轉(zhuǎn)換為電信號，以供輸出。加速度計(jì)本質(zhì)上是一個(gè)一自由度的振蕩系統(tǒng)，須采用阻尼器來改善系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)品質(zhì)。

 

　　MMF加速度計(jì)的性能指標(biāo)：

　　1、按照IEEE 1293-1998 12.3.8的規(guī)定在20℃時(shí)測量48小時(shí)；測量前穩(wěn)定1小時(shí)。

　　2、1年穩(wěn)定性根據(jù)IEEE 528-2001定義為：上電/上電，存儲(chǔ)于-55℃和85℃，在-40℃~125℃之間T循環(huán)，-55℃~85℃掉電干擾、振動(dòng)和沖擊。

　　3、溫度系數(shù)指在-40~20℃范圍內(nèi)，在此范圍內(nèi)輸出表現(xiàn)典型值呈線性。

　　4、帶寬定義為靈敏度降低小于3dB的頻率范圍。